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如今隨著科學技術的發展,傳感器技術也迅速發展起來,我們要跟大家分享一下加速度傳感器的工作原理,以便大家對加速度傳感器有更深的認識。
kistler加速度傳感器工作原理
現代科技要求加速度傳感器廉價、性能*、易于大批量生產。在諸如軍工、空間系統、科學測量等領域,需要使用體積小、重量輕、性能穩定的加速度傳感器。以傳統加工方法制造的加速度傳感器難以滿足這些要求。于是應用新興的微機械加工技術制作的微加速度傳感器應運而生。這種傳感器體積小、重量輕、功耗小、啟動快、成本低、可靠性高、易于實現數字化和智能化。而且,由于微機械結構制作重復性好、易于集成化、適于大批量生產,它的性能價格比很高。可以預見在不久的將來,它將在加速度傳感器市場中占主導地位。
靜態預載荷的大小應遠大于傳感器在振動、沖擊測試中可能承受的動應力。這樣,當傳感器向上運動時,質量塊產生的慣性力使壓電元件上的壓應力增加;反之,當傳感器向下運動時,壓電元件的壓應力減小,從而輸出與加速度成正比例的電 信號。壓電式加速傳感器的結構如圖所示。在兩塊表面鍍銀的壓電晶片(石英晶體或壓電 陶瓷)間夾1片金屬薄片,并引出輸出信號的引線。在壓電晶片上放置1塊質量塊,并用硬彈 簧對壓電元件施加預壓縮載荷。 微加速度傳感器有壓阻式、壓電式、電容式等形式。
壓電式傳感器是利用彈簧質量系統原理。敏感芯體質量受振動加速度作用后產生一個與加速度成正比的力,壓電材料受此力作用后沿其表面形成與這一力成正比的電荷信號。壓電式加速度傳感器具有動態范圍大、頻率范圍寬、堅固、受外界干擾小以及壓電材料受力自產生電荷信號不需要任何外界電源等特點,是被廣泛使用的振動測量傳感器。雖然壓電式加速度傳感器的結構簡單,商業化使用歷史也很長,但因其性能指標與材料特性、設計和加工工藝密切相關,因此在市場上銷售的同類傳感器性能的實際參數以及其穩定性和一致性差別非常大。與壓阻和電容式相比,其缺點是壓電式加速度傳感器不能測量零頻率的信號。
傳感器整個組件裝在一個原基座上,并用金屬殼體加以封罩。為了隔離試件的任何應變 傳遞到壓電元件上去,基座尺寸較大。測試時傳感器的基座與測試件剛性連接。當測試件的振動頻率遠低于傳感器的諧振頻率時,傳感器輸出電荷(或電壓)與測試件的加速度成正比,經 電荷放大器或電壓放大器即可測出加速度。
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